प्रेशर सेंसर सब्सट्रेट के रूप में एन-टाइप मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन वेफर का उपयोग करता है। सबसे पहले, सिलिकॉन वेफर को एक निश्चित ज्यामितीय पैटर्न के साथ एक नमनीय बल-असर वाले सदस्य में बनाया जाता है। यहां, एकल क्रिस्टल सिलिकॉन वेफर की बल-असर स्थिति को विभिन्न क्रिस्टल दिशाओं के साथ चार पी-प्रकार के विसरित प्रतिरोधों में बनाया जाता है, और फिर चार प्रतिरोधों का उपयोग बाहरी बल की कार्रवाई के तहत चार आर्म व्हीटस्टोन ब्रिज बनाने के लिए किया जाता है, परिवर्तन प्रतिरोध मूल्य का विद्युत संकेत आउटपुट बन जाता है। प्रेशर इफेक्ट वाला यह व्हीटस्टोन ब्रिज प्रेशर सेंसर का दिल है और इसे आमतौर पर पीजोरेसिस्टिव ब्रिज सर्किट (चित्र 1) कहा जाता है। पीज़ोरेसिस्टिव ब्रिज सर्किट की विशेषताएं हैं: ① ब्रिज सर्किट की चार भुजाओं का प्रतिरोध मान समान है (सभी R0); पुल सर्किट के आसन्न भुजाओं के पीज़ोरेसिस्टिव प्रभाव में समान नाममात्र मूल्य और विपरीत संकेत होते हैं; ब्रिज सर्किट की चार भुजाओं का प्रतिरोध तापमान गुणांक समान है, और एक ही तापमान पर शुरू से अंत तक। जब आंतरिक तापमान पर कोई तनाव नहीं होता है, तो आकृति पर, R0 प्रतिरोध मान होता है; RT तापमान में परिवर्तन होने पर प्रतिरोध के तापमान गुणांक (α) के कारण होने वाला परिवर्तन है; Rδ तनाव बल (ε) के कारण होने वाला प्रतिरोध परिवर्तन है; पुल आउटपुट वोल्टेज है u=I0 तथा Rδ=I0RGδ (निरंतर वर्तमान स्रोत पुल)
सूत्र में, I0 निरंतर वर्तमान स्रोत वर्तमान है, और E निरंतर वोल्टेज स्रोत वोल्टेज है। पीज़ोरेसिस्टिव ब्रिज सर्किट का आउटपुट वोल्टेज तुरंत तनाव बल (ε) के साथ सकारात्मक रूप से सहसंबद्ध होता है, और इसका प्रतिरोधक के तापमान गुणांक के कारण आरटी से कोई लेना-देना नहीं होता है, जो प्रारंभ करनेवाला के तापमान के बहाव को बहुत कम कर देता है। सबसे व्यापक रूप से इस्तेमाल किया जाने वाला अर्धचालक दबाव सेंसर द्रव दबाव के परीक्षण के लिए एक सेंसर है। मुख्य संरचना फोटोवोल्टिक सेल कच्चे माल (चित्रा 2) से बना सभी झिल्ली बक्से हैं। डायाफ्राम एक कप के आकार में बना होता है, और कप के अंदर बाहरी बल का हिस्सा होता है, और कप के तल पर प्रेशर ब्रिज सर्किट बनाया जाता है। एक गोलाकार कुरसी बनाने के लिए उसी सिलिकॉन सिंगल क्रिस्टल सामग्री का उपयोग करें, और फिर डायाफ्राम को कुरसी से बांधें। इस तरह के प्रेशर सेंसर में उच्च संवेदनशीलता, छोटे आकार, जमने आदि के फायदे हैं, और इसका व्यापक रूप से एयरलाइंस, एयरोस्पेस, इंस्ट्रूमेंटेशन और चिकित्सा उपकरणों में उपयोग किया गया है।
